[G] 力学特性の基礎

[13] 透明Vickers圧子を用いた単結晶シリコンのIn-situ Vickers Indentation破壊挙動観察

*仲野 暁登¹、三浦 誠司²、池田 賢一² (1. 北大工（院生）、2. 北大院工)

キーワード：その場観察、単結晶シリコン、Vickers Indentation、亀裂、破壊挙動、In-situ Vickers Indentation

Vickers試験は試験中の試料表面は観察不可能である。本研究では透明圧子を使用することで、In-situ Vickers Indentationを可能とした。単結晶Siを観察した所、負荷-除荷過程で破壊や亀裂進展の違いが観察された。