周期的傾斜組成を有するCo-Cu合金薄膜の電気めっき法による作製と優れたビッカース硬さ

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[14] 周期的傾斜組成を有するCo-Cu合金薄膜の電気めっき法による作製と優れたビッカース硬さ

*萩原宏幸¹、兼子佳久²、内田真² (1. 大阪市立大学・工（院生）、2. 大阪市立大学・工)

キーワード：ビッカース硬さ、傾斜組成、Co-Cu合金、XRD

周期的に電位を連続的に変化させる特殊な電気めっき法により，厚さ方向に高い濃度勾配を導入したCo-Cu合金薄膜を作製した．傾斜組成構造は単なる均質合金薄膜や多層膜に比べ優れたビッカース硬さを示した．

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