[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス

[377] 純Si融液成長におけるセル構造の形成過程

*前田 健作¹、藤原 航三¹ (1. 東北大金研)

キーワード：セル成長、その場観察、シリコン、融液成長、ファセット

純Siの融液成長においてセル成長を再現することができた。Geを添加した場合は不純物の効果によりセル成長が起こりやすい。本発表内容では不純物の効果は無く、温度の不均一によりセル構造が形成されたと考えられる。