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[397] Sm-Fe薄膜の水素化処理における面内応力および形成相の熱力学的な安定性
キーワード:水素、負磁歪材料、薄膜、電気化学
負磁歪薄膜の特性向上を目的とした水素処理を行い、薄膜中の圧縮応力制御を試みた。水素導入と共に面内圧縮応力の増加がみられ、薄膜中の水素の挙動及び形成水素化物相を複数の手法を用いて評価し、その知見を得た。
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