[G] Hydrogen and Battery Related Materials (2)

[407] Impact of Vacuum Annealing on Hydrogenation of Thin Films

*Harumoto Takashi¹, Shi Ji¹, Nakamura Yoshio¹ (1. Tokyo Institute of Technology)

Keywords:水素、薄膜、パラジウム、コバルト、応力、欠陥

薄膜における水素化について、真空熱処理を用いて詳細に研究したところ、膜中の欠陥量が大きな影響力を持っていると判明した。