Fe-Al融液からのAlN結晶成長のその場観察

講演情報

共同セッション

[J] 共同セッション：高温溶融体の物理化学的性質

2020年3月19日(木) 09:30 〜 15:30 ISIJ第２会場 (南2号館2階S222)

座長:柴田浩幸(東北大)、小林能直(東京工業大学)、助永壮平(東北大学)、齊藤敬高(九州大学)

10:10 〜 10:30

*山形武史¹、安達正芳¹、大塚誠¹、福山博之¹ (1. 東北大多元研)

キーワード：結晶成長、半導体材料、表面分析法、単結晶製造技術

電磁浮遊法を用いて，Fe-Al融液からのAlN結晶成長のその場観察を行い，AlNの生成・成長挙動の調査をした．

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