[LS] ランチョンセミナー　カールツァイス

[LS4] 金属研究における分析・相関顕微鏡法のイノベーション

*小田武秀　カールツァイス 株式会社¹ (1. カールツァイス(株))

新しい合金および材料の開発は、さまざまな研究分野でフロンティアを切り拓き、新しい時代の技術を可能にしました。これら新しい材料には、微細構造ならびに関連する機能特性を理解するため、3Dでの高度な特性評価と分析が必要になります。
このマルチスケールの分析において、大きなバルク材料を除去して埋設された対象領域を分析することは、重要課題の1つです。従来の試料調製では、試料を切り取り、微細構造への影響が避けられない機械研磨を行う必要がありました。これを克服するため、ZEISSは大容量の材料を迅速に除去するためのフェムト秒レーザーと、最新FIB-SEMであるZEISS Crossbeamの組み合わせをご提案します。従来のナノ秒レーザーと、新しいフェムト秒レーザーを比較したケーススタディでは、ミリングされた領域の精度と、結果として生じる微細構造の熱変化を評価しています。
また、電子顕微鏡とX線顕微鏡を組み合わせた、非破壊3D相関イメージング法により、既存のワークフローを発展させ、分析対象となる内部特性や組成、および微細結晶構造の正確なターゲティングが可能になりました。3D FIB-SEM連続断面トモグラフィーのイメージングと分析の自動化では、スライスの厚さを正確に制御し、同時にEDSとEBSDの特性評価を行うことで、新しい材料の微細構造と組成を高分解能かつ3Dで分析することを可能にしました。
さらには、試料調製や分析だけでなく、3Dデータの処理やセグメンテーションも極めて重要です。ZEISS ZEN Intellesisの機械学習ベースのセグメンテーション技術は、金属研究のアプリケーションである多相、多孔性、不純物、腐食を研究するための幅広いソリューションをご提供します。