[P] 9.電気・磁気関連材料

[P111] ポストアニールしたNd-Fe-B薄膜の保磁力に与える3Dシード効果

*古澤 皐平¹、小池 邦博¹、加藤 宏朗¹、稲葉 信幸¹、板倉 賢²、斎藤 佑³、大久保 晋³、太田 仁³ (1. 山形大院理工、2. 九大総理工、3. 神戸大分子フォト研)

キーワード：Nd₂Fe₁₄B薄膜、3Dシード、保磁力、ポストアニール

本研究ではポストアニールしたNd-Fe-B薄膜の保磁力に与える3D形態のシード導入効果について検討した結果，シード導入はUHVアニールによるNd₂Fe₁₄Bの結晶化を促進させるため保磁力が増大することを確認した．