[P] 9.電気・磁気関連材料

[P112] 赤外レーザーアニールによる急速結晶したNd-Fe-B 薄膜の磁気特性

*内田 徳之助¹、小池 邦博¹、加藤 宏朗¹、稲葉 信幸¹、板倉 賢²、齋藤 佑³、大久保 晋³、太田 仁³ (1. 山形大院理工、2. 九大総理工、3. 神戸大分子フォト研)

キーワード：Nd₂Fe₁₄B薄膜、保磁力、赤外レーザーアニール、結晶化

本研究では半導体赤外レーザー源を
用いた真空アニーリング装置によるNd-Fe-B 膜の結晶化を試み，Nd₂Fe₁₄B 相の結晶化に伴う高保磁力が確認された．