[P] 9.電気・磁気関連材料

[P117] Crystallization mechanism of Ge thin films by MIC method using Au

*KOIZUMI Akira¹, KYUNO Kentaro¹ (1. Shibaura Institute of Technology)

Keywords:半導体、薄膜、結晶、ゲルマニウム

Auを用いたMIC法によるGe薄膜の結晶化機構について調べたところ、相分離により生じたと思われるデンドライト状のGe結晶が確認された。