[P] 5.材料化学

[P124] 異なる原料ガスを用いて成膜した多層DLC膜の機械的特性の比較調査

*小林 幸央¹、西本 明生² (1. 関西大理工（院生）、2. 関西大)

キーワード：DLC、プラズマCVD、多層構造、メタンガス、アセチレンガス

オーステナイト系ステンレス鋼に異なる原料ガスを用いて積層回数の異なる多層DLC膜を成膜し、ガスおよび積層回数による密着性や耐摩耗性におよぼす影響を調査した。