[P] 5.材料化学

[P126] 反応性斜入射蒸着法により作製した微絨毛構造化InAlN膜の光学特性

*星 大輔¹、本間 雅大¹、井上 泰志²、高井 治³ (1. 千葉工大工(院生)、2. 千葉工大工、3. 関東学院大(材料表面研))

キーワード：反応性蒸着法、吸着誘起型エレクトロクロミック、Moss-Bursteinシフト

窒化インジウム薄膜は、分極させることで、可逆的に明褐色から暗褐色へ変化するエレクトロクロミック現象を示す。この色変化で透明状態を実現するため、他元素添加(Al添加)を行い、透明状態に近づくかを調査した。