日本金属学会 2020年春期(第166回)講演大会

Presentation information

Poster Session

5.Materials Chemistry » Materials Chemistry

[P] 5.材料化学

Tue. Mar 17, 2020 3:00 PM - 5:00 PM Poster Session (Centennial Hall)

[P128] Crystallization process of Ge using Au ultra-thin film

*TAUCHI Kohtaroh1, KYUNO Kentaro2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. Shibaura Insittute of Technology)

Keywords:薄膜、半導体、結晶成長、トランジスタ

Ge上にAu超薄膜を成膜後、熱処理を行いGeを結晶化させた。Geの連続薄膜が得られトランジスタ特性を測定した結果、p-channel型の挙動を示した。この手法はMIC法より超薄膜デバイス作製の可能性が高いと推察される。

Abstract password authentication.
Password is required to view the abstract. Please enter a password to authenticate.

Password