[P] 6.材料プロセシング

[P138] 超音波接合された複線Cuワイヤの微細組織形成過程

*堀内 涼太郎¹、岩本 知広²、藁澤 匠太郎³、駒井 芹哉³、本村 一生⁴、橋本 陽一⁴、高尾 洋史⁴、田口 悟⁴、濱田 賢祐⁵ (1. 茨城大工(学生)、2. 茨城大工、3. 茨城大工(院生)、4. 第一精工(株)、5. 超音波工業(株))

キーワード：超音波接合、複線ワイヤ、Cuワイヤ、電子線後方散乱回折、微細組織

Ag被膜が施された複線CuワイヤをNi，Au被膜が施されたCu合金基板上に超音波接合を行なった．微細組織観察を行った結果，接合時間を変化させたときの集合組織はそれぞれ異なる傾向が見られた．