[S2] ワイドギャップ結晶の材料学と高温プロセッシング 2

[S2.11] イオン研磨によるβ-Ga₂O₃の研磨損傷層除去の試みとその評価

*田中 孝治¹、大曲 新矢¹、立木 実²、高野 美和子²、渡邊 幸志¹、梅沢 仁¹ (1. 産総研、2. 物材機構)

キーワード：FZ法、β-Ga₂O₃、加工損傷層、EBSD、FIB/STE、イオン研磨、EFG法

FZ法により作製されたβ-Ga₂O₃基板の研磨時に導入される加工損傷を、イオン研磨により除去する事を試みた結果とその評価を発表する。