[S2] ワイドギャップ結晶の材料学と高温プロセッシング 2

[S2.4] 微粒子応用SiCの高速液相エピタキシャル成長

*山口 彰太¹、鳴海 大翔²、吉川 健¹ (1. 東大　生研、2. 東大　生研(現：京都大学))

キーワード：SiC、Gibbs-Thomson効果、液相成長、エピタキシャル成長

著者らは、微粒子系のGibbs-Thomson効果を利用した、SiCの高速成膜の研究を進めており、本稿では、Si溶媒ならびにSi-Cr溶媒中にSiC微粒子を保持した際に得られたSiC結晶のエピタキシャル成長挙動について報告する。