[S4] 金属表面の材料化学Ⅲ―めっき・耐食性・耐酸化性・触媒研究の新展開―（2）

[S4.12] [基調講演] 貴金属めっき材料の結晶組織制御とその医用MEMS デバイスへの応用

*曽根 正人¹、唐 浩峻¹、Chang Tso-Fu　Mark¹、山根 大輔¹、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、益 一哉¹ (1. 東工大)

キーワード：めっき、貴金属、機械的特性、微小材料試験、結晶組織

超高感度MEMS 加速度センサを実現するため、様々な電気めっき法を駆使し,金の細粒化強化や添加物による析出強化,合金化による固溶強化により、非常に高い機械的強度を有する階層的ナノ組織金属を作成した。