[P] P199~P215

[P207] 窒化チタン薄膜の硬度と色彩に及ぼすイッテルビウムの影響

*カイルルアブラル ビンオン¹、澤谷 柊¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：薄膜、遷移金属窒化物、硬度、Ti-Yb-N

Si(100)基板上に様々なx値を持つTi_1-xYb_xN薄膜をPLD法により作製することに成功した。結果より、すべての試料はB1構造の単相薄膜であり、硬度は最大値29.0 GPaになり、約7%向上した。