[P] P199~P215

[P208] Production and microstructure analysis of periodic oxygen-deficient HfO_2-x

*Kai IMAMURA¹, Mitsuhiro MATSUDA², Masahiro SHOZAKI³, Kenji SHIDA³, Motohide MATSUDA² (1. Grad. Sch. Sci. Tech. Kumamoto Univ., 2. Fac. Adv. Sci. Tech. Kumamoto Univ., 3. Tech. Div. Kumamoto Univ.)

Keywords:HfO₂、酸素欠損、衛星反射

我々は, 金属Hfに対して本研究室オリジナルの精密酸化プロセスを施すことで酸素欠損型HfO_2-xの作製に成功した。本試料にてTEM観察を行った結果, 酸素欠損の規則配列に由来すると考えられる衛星反射が確認された。