15:00 〜 16:30
[P209] スパッタ法を用いたCantor合金薄膜の摩耗特性
キーワード：薄膜、金属薄膜、摩擦摩耗、レーザーアニーリング
スパッタリング装置を用いて作製したハイエントロピー合金のCantor合金薄膜に対して摩擦摩耗試験やレーザーアニーリングを利用することで摩擦特性等について解明した．
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