[P] P75~P79

[P79] Crystallization and Characterization of Ge Thin Films Fabricated by MIC Method Using Ag as Catalyst

*Kota CHO¹, Yuta ASANO¹, Kentaro KYUNO^1,2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT Center for Generation Semiconductor Human Resources)

Keywords:半導体、低温結晶、薄膜トランジスタ、MIC法、金属誘起結晶化法

薄膜トランジスタ（TFT）のチャンネル層にGeが注目され、低温結晶化によりフレキシブルデバイスへの応用が期待される。逆積層のMIC法を用い、AgとGeの膜厚の影響を調査した。