12:00 〜 13:30
[P79] Agを触媒としてMIC法で作製したGe薄膜の結晶化と特性評価
キーワード:半導体、低温結晶、薄膜トランジスタ、MIC法、金属誘起結晶化法
薄膜トランジスタ(TFT)のチャンネル層にGeが注目され、低温結晶化によりフレキシブルデバイスへの応用が期待される。逆積層のMIC法を用い、AgとGeの膜厚の影響を調査した。
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