[P] P175~P182

[P176] Structure and magnetic properties of high coercivity SmCo₅ thin films fabricated on polyimide substrates

*Kosaku Murakata¹, Yuto Miura¹, Shion Kudo¹, Masaaki Doi¹, Toshiyuki Shima¹ (1. Tohoku Gakuin University)

Keywords:SmCo₅、Polyimide、Coercivity、Thin film

フレキシブル基板上に高性能硬磁性薄膜を作製することができればMEMS技術のさらなる発展が期待できる。本研究では、ポリイミド基板上にSm(Co-Cu)₅ 薄膜を作製し、その結晶構造及び磁気特性について詳細に調査した。