[P] P175~P182

[P177] Fabrication of circular array Sm(Fe-Co)-B pattern and change in magnetic properties due to differences in diameter

*Shingo Ito¹, Shoma Sato¹, Shintaro Hatanaka, Masaaki Doi¹, Toshiyuki Shima¹ (1. Tohoku Gakuin University)

Keywords:Coercivity、Microfabrication、Thin film、ThMn₁₂-type structure

Sm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂-B薄膜の更なる保磁力向上を目的とし、Sm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂-B 薄膜のドット径を変化させて作製した配列パターンを微細加工法により形成し、ドット径の変化による磁気特性への影響を調査した。