日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

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ポスターセッション

5.Materials Chemistry » Materials Chemistry

[P] P293~P306

Wed. Sep 18, 2024 4:00 PM - 5:30 PM Poster Session Room2 (Studio A at Science Commons)

4:00 PM - 5:30 PM

[P298] Preparation and characterization of (Cr,Mn)N thin films by substituting Mn into Cr site in CrN

*Hiroaki KATO1, Shu SAWAYA1, Tsuneo SUZUKI1 (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:PLD、遷移金属窒化物、電気伝導性、薄膜

MgO(001)単結晶基板上にCrNのCrサイトにMnを置換固溶させた(Cr,Mn)N薄膜をPLD法により作製した。結晶相同定・評価より単結晶ライクなエピタキシャル薄膜であることが示唆された。

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