日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

講演情報

ポスターセッション

5.材料化学 » 材料化学

[P] P293~P306

2024年9月18日(水) 16:00 〜 17:30 ポスターセッション会場2 (サイエンスコモンズ・スタジオA)

16:00 〜 17:30

[P299] 水素を添加した窒化クロムの作成

*田代 康真1、澤谷 柊1、鈴木 常生1 (1. 長岡技科大)

キーワード:PLD、薄膜、遷移金属窒化物、窒化クロム、水素

水素を導入した雰囲気化でSi(1 0 0)基板上に窒化クロム薄膜をPLD法で作製した。FT-IRとXRDを用いて分析した結果、純CrN薄膜と比較して両方でピークの位置に変化が観られた。

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