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[66] [AlN/Pt]₅下地層上に室温成膜したCoPt 薄膜の結晶構造と磁気特性
キーワード:CoPt、AlN/Pt、磁性薄膜、垂直磁気異方性
CoPt結晶構造との整合性が良いfcc構造ベースの[AlN/Pt]₅多層膜を下地層として提案し,高いPMAを示すhcp 型CoPt 薄膜の室温形成に成功したことを報告する。
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