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[68] Co-(Mg-F)ナノグラニュラー薄膜のゲージ効果とその理論考察
キーワード:ナノグラニュラー薄膜、Co-(Mg-F)薄膜、ひずみゲージ、トンネル効果、スパッタ
本研究では、Coナノ粒子がMgF2母相中に分散したCo-(Mg-F)ナノグラニュラー薄膜のゲージ効果について理論考察と実証実験を行った。薄膜の電気抵抗は引張ひずみを加えると増加し、圧縮ひずみを加えると減少した。
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