スケジュール 0 13:15 〜 14:40 [Y1171] レーザーソフトイオン化におけるSiピラー構造のサイズ依存性 ○藤井 優祐1、大須賀 潤一2、古谷 浩志3、豊田 岐聡4、松尾 保孝5 (1. 北大院総化、2. JEOL協働研、3. 阪大リノ工作、4. 阪大院理、5. 北大電子研) キーワード：Siピラー、SALDI、DIOS、EBリソグラフィ、ドライエッチング 抄録パスワード認証要旨の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。要旨集PDF公開後に参加登録した場合、閲覧用のパスワードは決済完了通知メールの末尾に記載されています。 パスワード 認証
