[3F5-GS-10] AI応用：製造

[3F5-GS-10-01] 半導体製造装置のセンサデータを用いた深層距離学習による類似事例検索に関する検討

〇斉藤 直輝¹、藤後 廉¹、前田 圭介¹、小林 累輝²、中村 隆央²、岡谷 基弘²、数井 誠人²、松沢 貴仁²、小川 貴弘¹、長谷山 美紀¹ (1. 北海道大学、2. 東京エレクトロン株式会社)

キーワード：深層距離学習、半導体製造装置、センサデータ、類似事例検索

本稿では，半導体製造装置のセンサデータを用いた深層距離学習による類似事例検索手法を提案する．半導体製造においては，装置稼働率向上のためのトラブルの早期検知と復旧の迅速化が重要課題である．そのため，センサデータを用いた装置状態モニタリング技術と，発生したトラブルの種類を特定して対処方法を提案するための類似事例検索技術の実現が期待されている．そこで提案手法では，半導体製造装置のセンサデータから深層距離学習モデルにより獲得した特徴表現を用いた類似事例検索を実現する．半導体製造装置のセンサデータを用いた実験により，提案手法ではクエリと同じ異常種類の事例を高精度に検索可能であることが確認された．