2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

07．ビーム応用 » 7.2 電子顕微鏡．評価．測定．分析

[16a-A13-1~10] 7.2 電子顕微鏡．評価．測定．分析

2013年9月16日(月) 09:15 〜 12:00 A13 (TC1 3F-323)

11:15 〜 11:30

[16a-A13-8] SEM-EBSD法によるGaN膜の結晶方位マッピング時におけるイオン液体用いたドリフト抑制方法の評価

○森田博文1，江川孝志1，二村和孝2 (名工大1，日立ハイテク2)

キーワード：EBSD,Ion Liquid,Image Drift