[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ

[16p-A13-3] レーザ描画によるステンレス細径管へのスリットパターン形成

^○坂部展士，堀内敏行 (東京電機大院工)

キーワード：レーザ走査リソグラフィ