[16p-A2-1~8] 1.3 新技術

[16p-A2-4] マイクロ牧場アレイを用いた出芽酵母の培養

^○松谷晃宏¹，髙田綾子² (東工大半導体MEMSプロセス技術センター¹，東工大バイオ技術センター²)

キーワード：バイオチップ,プラズマエッチング,プロセス技術