[16p-B4-1~8] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [16p-B4-7] 気相中でZnO粒子を生成する新規プロセスに用いる亜鉛源の検討

^○水池成弘¹，比村治彦¹，岡田成文²，三瓶明希夫¹，政宗貞男¹ (京都工繊大¹，阪大工²)

キーワード：粒子供給,酸化亜鉛,真空