[16p-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-D3-1] LaVO_xN_yエピタキシャル薄膜の作製及び物性評価

^○佐野真仁^1,3，廣瀬靖^1,2,3，中尾祥一郎^2,3，楊長^1,2,3，岡崎壮平^2,3，福村知昭^1,2,3，石井聡⁴，笹公和⁴，関場大一郎⁴，福谷克之⁵，長谷川哲也^1,2,3 (東大院理¹，ＪＳＴ－ＣＲＥＳＴ²，ＫＡＳＴ³，ＵＴＴＡＣ⁴，東大生研⁵)

キーワード：酸窒化物