[16p-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-D3-5] スパッタ法により堆積したVO₂薄膜の電気的特性とポストアニールによる伝導型反転

^○Bintiazhan Nurulhanis，沖村邦雄 (東海大院工)

キーワード：二酸化バナジウム,電気的特性,ポストアニール