2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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合同セッションK » 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2013年9月16日(月) 13:30 〜 15:30 P8 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[16p-P8-2] ジエチル亜鉛を原料に用いたスプレー法によるGa-doped ZnO薄膜の低抵抗化メカニズム

井手亜貴子1,持原晶子1,吉野賢二1,小嶋稔2,竹元裕仁2,豊田浩司2,稲葉孝一郎2,羽賀健一2,中俊雄2,徳留功一2 (宮崎大工1,東ソー・ファインケム2)

キーワード:ZnO,透明導電膜,スプレー