[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-6] AZOターゲットと作製される薄膜の関係性の検討

^○近藤勝軌，富口祐輔，原祐輔，清水英彦，岩野春男，川上貴浩，福嶋康夫，永田向太郎，坪井望，野本隆宏 (新潟大)

キーワード：AZO,スパッタ法