[17a-A13-1~10] 7.5 ビーム・光励起表面反応

[17a-A13-5] ガスクラスターイオンビーム照射によるDLC表面の構造改質

^○（M2）藤本昌宏，豊田紀章，山田公 (兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム,DLC