PDF ダウンロード スケジュール 2 いいね! 0 11:00 〜 11:15 [17a-A13-6] SXおよびUV照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復 ○新部正人1,佐野桂治1,川上烈生2,富永喜久雄2,中野由崇3 (兵庫県大高度研1,徳島大院工2,中部大総工研3) キーワード:酸化チタン,軟X線,エッチングダメージ