2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.5 ビーム・光励起表面反応

[17a-A13-1~10] 7.5 ビーム・光励起表面反応

2013年9月17日(火) 09:00 〜 12:15 A13 (TC1 3F-323)

11:00 〜 11:15

[17a-A13-6] SXおよびUV照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復

新部正人1,佐野桂治1,川上烈生2,富永喜久雄2,中野由崇3 (兵庫県大高度研1,徳島大院工2,中部大総工研3)

キーワード:酸化チタン,軟X線,エッチングダメージ