[17a-A13-1~10] 7.5 ビーム・光励起表面反応

[17a-A13-6] ＳＸおよびＵＶ照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復

^○新部正人¹，佐野桂治¹，川上烈生²，富永喜久雄²，中野由崇³ (兵庫県大高度研¹，徳島大院工²，中部大総工研³)

キーワード：酸化チタン,軟Ｘ線,エッチングダメージ