2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

04．量子エレクトロニクス » 4.7 レーザー・プロセッシング

[17a-A3-1~10] 4.7 レーザー・プロセッシング

2013年9月17日(火) 09:30 〜 12:15 A3 (TC1 1F-132)

11:00 〜 11:15

△ [17a-A3-6] SiO2埋込み薄膜のCO2レーザーアニールによる高品質ZnO薄膜の形成

○（M1）山崎恒太，池上浩，下垣哲也，渡邉陽介，中村大輔，岡田龍雄 (九州大)

キーワード：ZnO,laser