[17a-A3-1~10] 4.7 レーザー・プロセッシング

△ [17a-A3-7] 冷凍シクロヘキサンターゲットを用いたPLD法によるDLC薄膜の作製

^○我妻由貴¹，中村貴宏¹，佐藤俊一¹ (東北大¹)

キーワード：PLD法,冷凍ターゲット,DLC薄膜