11:30 AM - 11:45 AM
△ [17a-A3-8] Direct micromachining inside c-Si by using femtosecond laser
Keywords:フェムト秒レーザー,単結晶シリコン,ナノ周期構造
Oral presentation
04. Quantum Electronics » 4.7 Laser processing
Tue. Sep 17, 2013 9:30 AM - 12:15 PM A3 (TC1 1F-132)
11:30 AM - 11:45 AM
Keywords:フェムト秒レーザー,単結晶シリコン,ナノ周期構造