[17a-B3-1~11] 15.6 IV族系化合物

△ [17a-B3-4] VLD型終端構造を適用した3.3 kV SiC-SBDの作製および評価

^○海老原洪平，山本泰樹，中木義幸，綾淳，今泉昌之，三浦成久，中田修平，山川聡 (三菱電機)

キーワード：SiC,SBD,終端構造