[17a-B3-1~11] 15.6 IV族系化合物

△ [17a-B3-5] 4H-SiC熱酸化膜の界面近傍の構造変化に対する面方位と酸化雰囲気の効果

^○平井悠久¹，喜多浩之^1,2 (東大院工¹，JSTさきがけ²)

キーワード：SiC,FTIR,熱酸化膜