2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[17a-B3-1~11] 15.6 IV族系化合物

2013年9月17日(火) 09:00 〜 12:00 B3 (TC2 1F-105)

10:45 〜 11:00

[17a-B3-7] SiO2/SiC MOS構造における伝導帯端近傍の界面特性

田岡紀之,坂下満男,中塚理,財満鎭明 (名大院工)

キーワード:SiC,interface trap