[17a-B5-1~10] 13.3 絶縁膜技術

△ [17a-B5-3] スピンオングラスおよびCO₂レーザーアニールを用いた多結晶シリコン薄膜上へのSiO₂薄膜形成

^○菱谷大輔¹，堀田昌宏^1,2，石河泰明^1,2，渡辺陽介³，池上浩³，浦岡行治^1,2 (奈良先端大¹，科学技術振興機構²，九大³)

キーワード：Spin-On glass,CO2 laser,SiO2