11:00 〜 11:15
△ [17a-B5-7] MONOS型メモリに特有な界面準位生成/回復現象とその起源
キーワード：MONOS,信頼性,界面準位
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 絶縁膜技術
[17a-B5-1~10] 13.3 絶縁膜技術
2013年9月17日(火) 09:15 〜 12:00 B5 (TC2 2F-201)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 絶縁膜技術
2013年9月17日(火) 09:15 〜 12:00 B5 (TC2 2F-201)
11:00 〜 11:15
キーワード：MONOS,信頼性,界面準位