[17a-C1-1~8] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[17a-C1-1] VHF-DC重畳マグネトロンプラズマの生成とプラズマ計測

^○小川勇人¹，福岡侑士¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ工学研究センター²)

キーワード：スパッタリング　,VHF,DC