[17a-C1-1~8] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

△ [17a-C1-5] マルチホロー放電プラズマからのクラスター流出量のガス流速依存性

^○Susumu Toko，金淵元，橋本優史，金光善徳，徐鉉雄，内田儀一郎，鎌滝晋礼，板垣奈穂，古閑一憲，白谷正治 (九大)

キーワード：plasma CVD,水素化アモルファスシリコン,クラスター